DX-7CF型硅单晶锭X射线复检仪

X射线复检仪

说明
        该仪器专门用于硅单晶锭定向、粘结后角度复检。待测晶锭在我公司的DX-7C型X射线定向仪定向、在DX-7CZ型粘料仪上粘结后,最终在本仪器上复检,和多线切割机配套使用。它具有一个工作台,工作台上有托板和料板(工件板)的定位、夹紧装置。晶锭与垫条(石墨/玻璃/树脂)、料板粘结后一起装在上述装置上定位夹紧,其端面在X射线照射下进行复检,每个料板只可复检两块晶锭。

主要技术参数见下表:

项目 参数
晶锭直径 2~8英寸
晶锭最大长度 500
测定晶面(硅) 111,100
定向精度 ±30″
最小读数 1″
晶锭与料板最大转角(α) ±10°
料板最大长度 500
料板宽度 70 ,100

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