DX-7CZ型硅单晶锭粘结仪

硅单晶锭粘结仪

说明
        该仪器专门用于硅单晶锭的粘结,晶锭用我公司的DX-7C型X射线定向仪测定后,在本仪器上粘结,是和多线切割机配套使用的半导体行业专用设备。
        该仪器有一个定位板,由两台单片机控制,步进电机驱动,用于晶锭在粘结料板(工件板)上位置和角度调节。考虑到粘结胶凝固需一定时间,为提高生产率,该仪器可同时容纳3块已粘料板。每块料板上可粘结较短晶锭多块;但如需“复检”,则只能粘2块。

主要技术参数见下表:

项目 参数
晶锭直径 2~8英寸
晶锭最大长度 500
料板最大长度 500
料板宽度 70,100,150
定位板转角(α) ±10°
转角最小读数 1″

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