功能: 1) 该仪器为自动化测量仪器。仪器为双工作台,分别测量晶片的端面及参考边角度。双侧可同时进行测量。 2) 仪器为手动上下片,自动测量模式。 开机校准方式为6次自动校准仪器,最大限度地消除校机误差。 3) 测量角度的范围可根据需要设置扫描范围,最大范围为3度 。每次测量结果可以被记录并保存,并可以随时获取测量角度的平均值。