DX-8B02型卧式半导体OF面X射线定向仪

蓝宝石晶体,x射线定向仪

说 明
        该仪器主要用于4英寸以下小直径晶棒的OF面定向,晶锭水平放置在夹具内,在X-RAY照射下,测出OF面,依机械方式紧固晶锭,然后将晶锭带同夹具一起固定在磨床上加工OF面。

主要技术参数见下表:

项目 参数
晶锭直径 2-8英寸
晶锭长度 500
定向晶面 110
定向精度 ±30″
最小读数 10″

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