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DX-8B02型卧式半导体OF面X射线定向仪
说 明
该仪器主要用于4英寸以下小直径晶棒的OF面定向,晶锭水平放置在夹具内,在X-RAY照射下,测出OF面,依机械方式紧固晶锭,然后将晶锭带同夹具一起固定在磨床上加工OF面。
主要技术参数见下表:
项目
参数
晶锭直径
2-8英寸
晶锭长度
500
定向晶面
110
定向精度
±30″
最小读数
10″
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