DX-7型半导体籽晶X射线定向仪

x射线定向仪

说明
    该仪器主要用于硅单晶籽晶定向,也可用于其它半导体材料的籽晶定向。仪器为双工作台。右工作台用于对拟加工成籽晶的硅单晶锭的端面定向,然后在内圆切割机上切成籽晶条;左工作台用于对上述籽晶条进行定向。

主要参数见下表:

项目 粘Z块
晶锭直径 2-8英寸
晶锭长度 140
定向晶面 111,100
定向精度 ±30″
最小读数 1″

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