说明 该仪器主要用于硅单晶籽晶定向,也可用于其它半导体材料的籽晶定向。仪器为双工作台。右工作台用于对拟加工成籽晶的硅单晶锭的端面定向,然后在内圆切割机上切成籽晶条;左工作台用于对上述籽晶条进行定向。 主要参数见下表: