DX-5C型超高精度X射线粘料定向仪

x射线定向仪

说明
        该仪器主要用于水晶晶棒在X-RAY照射下定向、粘结。采用特种角度编码器,与主轴直接连接。晶棒以大R面定位,用千分尺微调,粘料装置采用特种导轨,使水晶晶棒粘结精度大大提高,特别适合与线切割机、多刀切割机配套,以切割出更高精度晶片。该仪器主要用于AT切型,也可用于BT切型 。

主要参数见下表:

项目 参数
料板尺寸 330×200×20
晶棒厚度 10,9,(8,7)
晶棒在料板上的粘结精度 ±5″
粘结精度显示方式 数字/模拟率表,具有峰值记忆力功能
切型角最小读数 1″
料板固定方式 电磁铁
料板移动方式 特种精密导轨

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