DX-5型X射线粘料定向仪

x射线定向仪

说明
        该仪器为双工作台,左测角仪用于高精度晶片测定。右边为水晶晶棒粘料装置。该型装置,晶棒以大R面定位,用千分尺微调,切型角由测角仪调节。该仪器主要用于AT切型,也可用于BT切型,为适应不同客户需要,设计成DX-5A/5B、6A/6B四种型号, 区别在于:
        DX-5A/5B型:晶棒+X面向上粘结, DX-6A/6B型:晶棒+X面向下粘结。
        DX-5B/6B型为宽料板型,为利于刀条框架的性能、寿命,晶棒在料板上居中粘结。

主要参数见下表: 

项目 5A,6A型 6A,6B型
料板尺寸 330×200×20 250×250×20
晶棒厚度 10,9,(8,7) 10,9,(8,7)
粘结层数 5(6) 5(6)
层数调节方式 垫块 垫块
晶棒在料板上的 ±15″ ±15″
粘结精度 数字/模拟率表 数字/模拟率表
粘结精度显示方式 峰值记忆功能 峰值记忆功能
切型角最小读数 1″ 1″
料板固定方式 电磁铁 电磁铁
料板移动方式 精密导轨 精密导轨

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