
说明
该仪器为双工作台,左测角仪用于高精度晶片测定。右边为水晶晶棒粘料装置。该型装置,晶棒以大R面定位,用千分尺微调,切型角由测角仪调节。该仪器主要用于AT切型,也可用于BT切型,为适应不同客户需要,设计成DX-5A/5B、6A/6B四种型号, 区别在于:
DX-5A/5B型:晶棒+X面向上粘结, DX-6A/6B型:晶棒+X面向下粘结。
DX-5B/6B型为宽料板型,为利于刀条框架的性能、寿命,晶棒在料板上居中粘结。
主要参数见下表:
| 项目 |
5A,6A型 |
6A,6B型 |
| 料板尺寸 |
330×200×20 |
250×250×20 |
| 晶棒厚度 |
10,9,(8,7) |
10,9,(8,7) |
| 粘结层数 |
5(6) |
5(6) |
| 层数调节方式 |
垫块 |
垫块 |
| 晶棒在料板上的 |
±15″ |
±15″ |
| 粘结精度 |
数字/模拟率表 |
数字/模拟率表 |
| 粘结精度显示方式 |
峰值记忆功能 |
峰值记忆功能 |
| 切型角最小读数 |
1″ |
1″ |
| 料板固定方式 |
电磁铁 |
电磁铁 |
| 料板移动方式 |
精密导轨 |
精密导轨 |