| 该仪器是在西安交通大学等高校的帮助下研发成功的，主要用于较小晶棒及其切片在三维方向的定向。其特点是：晶体的取向可以是已知或未知、晶体偏角可以是任意的，借助“蝴蝶图”判断被测晶体是取向多晶、准单晶、单晶或择优取向。和内圆切割机配套使用。
仪器有两个测角仪。一个测角仪上装有晶棒定向装置，把粘有晶棒的切割料板装上，分别测定晶棒在X，Y方向的偏角，并依次在切割机上切片。另一个测角仪上可装上样品台，用此测定切割后的晶片；也可装上旋转样品台，外接PC计算机，测出上述所谓的“蝴蝶图”。这两台测角仪都是用单片机控制，步进电机驱动，自动化扫描。
主要技术参数见下表：
| 项目 |
参数 |
| 晶锭直径 |
φ50 |
| 晶锭最大长度 |
200 |
| 定向精度 |
±30″（SiO2 1011) |
| 最小读数 |
1″ |
| 2θ |
0～100° |
| θ |
0～100° |
| 旋转样品台转速 |
0～60度/分 |
注：用户有何特殊要求可协商。 |
