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■ DX-7CF型硅单晶锭X射线复检仪 |
| ■ 说 明 |
| 该仪器专门用于硅单晶锭定向、粘结后复检。待测晶锭在我公司的DX-7C型X射线定向仪定向、在DX-7CZ型粘料仪上粘结后,最终在本仪器上复检,和多线切割机配套使用。它具有一个工作台,工作台上有托板和料板(工件板)的定位、夹紧装置。晶锭与垫条(石墨/玻璃/树脂)、料板粘结后一起装在上述装置上定位夹紧,其端面在X射线照射下进行复检,每个料板只可复检两块晶锭。
主要技术参数见下表:
| 项目 |
参数 |
| 晶锭直径 |
5~8英寸 |
| 晶锭最大长度 |
500 |
| 测定晶面(硅) |
111,100 |
| 定向精度 |
±30″ |
| 最小读数 |
1″ |
| 晶锭与料板最大转角(α) |
±10° |
| 料板最大长度 |
500 |
| 料板宽度 |
70 ,100 |
注:用户有何特殊要求可协商。 |
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