DX-1/2/2A型X射线单晶定向仪
DX-3/4/4A型高精度X射线单晶定向仪

DX-5/6型高精度X射线粘料定向仪

DX-5C型超高精度X射线粘料定向仪

DX-5D型高精度SC型X射线粘料定向仪

DX-7型大晶棒端面X射线定向仪

DX-7型半导体籽晶X射线定向仪
DX-7A型硅单晶片定向仪
DX-7B型单晶锭X射线定向仪

DX-7C型硅单晶锭X射线定向仪

DX-7CF型硅单晶锭X射线复检仪

DX-7CZ型硅单晶锭粘结仪

DX-8型滚磨机X射线定向仪

DX-8A型立式半导体OF面X射线定向仪
DX-8B型立式半导体OF面X射线定向仪

DX-9B型X射线单晶回摆曲线测定仪

DX-9/9A型半自动X射线单晶定向仪

DX-9C型X射线SC切型晶片定向仪

DXD-1型任意偏角晶体X射线定向仪

■ DX-5C型超高精度X射线粘料定向仪

■ 说 明
该仪器是在DX-5/6A、B型高精度X射线粘料定向仪的基础上研发成功的。主要特点是:去掉了原测角仪蜗轮副,采用进口特种角度编码器,与主轴直接连接:粘料装置采用进口特种导轨:有关部分也做了重大改进:致使水晶棒粘结精度大大提高,特别适合于线切割机、多刀切割机配套,以切割出更高精度晶片。

该仪器为双工作台,左测角仪用于高精度晶片测定。右边为水晶晶棒粘料装置,该型装置,晶棒以大R面定位,用千分尺微调,切型角由测角仪调节。该仪器主要用于AT切型,也可用于BT切型,主要参数、特点见下表。

项目 参数
料板尺寸 330×200×20
晶棒厚度 10,9,(8,7)
粘结层数 5(6)
层数调节方式 垫块
晶棒在料板上的粘结精度 ±5″
粘结精度显示方式 数字/模拟率表,具有峰值记忆力功能
切型角最小读数 1″
料板固定方式 电磁铁
料板移动方式 特种精密导轨
主机型号 DX-4A型

注意事项:

1.因本装置适应多种厚度晶棒粘结,故要求晶棒大R面足够大。晶棒最好由Z块切成:如为Y棒,则需平行大R面切一刀,以增加大R面面积。

2.如客户对料板尺寸、晶棒厚度等有不同要求,可协商。