| 该仪器用于大直径硅单晶端面的定向与测量,也可用于其它种类的单晶定向与测量。
DX-7型用于测定直径为0.5~8英寸,重30kg的硅单晶棒(锭)的端面,也可测定其切割后的硅单晶片,并配有吸气泵。测定的晶面可为100、110、111、210等。测量精度为±30″,最小读数为10″。该仪器为双工作台,可同时完成相同任务,也可分别测定不同直径的晶棒(锭)的端面或晶片,根据用户需要配置。
该仪器采用我公司DX-2型定向仪为主机,可根据用户需要,采用我公司DX-4A(精度±15",最小读数1")等型号的主机;也可根据用户需要,设计成各种类型仪器。 |