| 该仪器专门用于硅单晶锭的定向,是和多线切割机配套使用的半导体行业专用设备。它具有左右两个工作台,每个台上有一对滚杠,一对用于3~5英寸,另一对用于6~8英寸晶锭测定。晶锭放在滚杠上,其端面在X射线照射下定向。
晶锭尾端和进口编码器偶合,细分步到0.001°,用于测定晶锭旋转角度。可进行四方位(0°,90°,180°,270°)和二方位(0°,90°)测量。该仪器有一套微机控制装置,具有输入键盘、屏幕和打印机等。选择屏幕菜单,键入晶锭编号,所需数据,产品要求的切割偏角等,经计算、显示、打印出晶锭编号,晶锭在料板(工件板)上粘结所必须的自身旋转角β及摆角α等值。
主要技术参数见下表:
| 项目 |
参数 |
| 晶锭直径 |
3~8英寸 |
| 晶锭最大长度 |
500 |
| 测定晶面 |
111,100 |
| 定向精度 |
±30″ |
| 最小读数 |
1″ |
| 晶锭转角(β) |
±90°±0.1° |
| 主机型号 |
DX-2A |
注:用户有何特殊要求可协商。 |