DX-1/2/2A型X射线单晶定向仪
DX-3/4/4A型高精度X射线单晶定向仪

DX-5/6型高精度X射线粘料定向仪

DX-5C型超高精度X射线粘料定向仪

DX-5D型高精度SC型X射线粘料定向仪

DX-7型大晶棒端面X射线定向仪

DX-7型半导体籽晶X射线定向仪
DX-7A型硅单晶片定向仪
DX-7B型单晶锭X射线定向仪

DX-7C型硅单晶锭X射线定向仪

DX-7CF型硅单晶锭X射线复检仪

DX-7CZ型硅单晶锭粘结仪

DX-8型滚磨机X射线定向仪

DX-8A型立式半导体OF面X射线定向仪
DX-8B型立式半导体OF面X射线定向仪

DX-9B型X射线单晶回摆曲线测定仪

DX-9/9A型半自动X射线单晶定向仪

DX-9C型X射线SC切型晶片定向仪

DXD-1型任意偏角晶体X射线定向仪

■ DX-7C型硅单晶锭X射线定向仪

■ 说 明
该仪器专门用于硅单晶锭的定向,是和多线切割机配套使用的半导体行业专用设备。它具有左右两个工作台,每个台上有一对滚杠,一对用于3~5英寸,另一对用于6~8英寸晶锭测定。晶锭放在滚杠上,其端面在X射线照射下定向。

晶锭尾端和进口编码器偶合,细分步到0.001°,用于测定晶锭旋转角度。可进行四方位(0°,90°,180°,270°)和二方位(0°,90°)测量。该仪器有一套微机控制装置,具有输入键盘、屏幕和打印机等。选择屏幕菜单,键入晶锭编号,所需数据,产品要求的切割偏角等,经计算、显示、打印出晶锭编号,晶锭在料板(工件板)上粘结所必须的自身旋转角β及摆角α等值。

主要技术参数见下表:

项目 参数
晶锭直径 3~8英寸
晶锭最大长度 500
测定晶面 111,100
定向精度 ±30″
最小读数 1″
晶锭转角(β) ±90°±0.1°
主机型号 DX-2A

注:用户有何特殊要求可协商。