DX-1/2/2A型X射线单晶定向仪
DX-3/4/4A型高精度X射线单晶定向仪

DX-5/6型高精度X射线粘料定向仪

DX-5C型超高精度X射线粘料定向仪

DX-5D型高精度SC型X射线粘料定向仪

DX-7型大晶棒端面X射线定向仪

DX-7型半导体籽晶X射线定向仪
DX-7A型硅单晶片定向仪
DX-7B型单晶锭X射线定向仪

DX-7C型硅单晶锭X射线定向仪

DX-7CF型硅单晶锭X射线复检仪

DX-7CZ型硅单晶锭粘结仪

DX-8型滚磨机X射线定向仪

DX-8A型立式半导体OF面X射线定向仪
DX-8B型立式半导体OF面X射线定向仪

DX-9B型X射线单晶回摆曲线测定仪

DX-9/9A型半自动X射线单晶定向仪

DX-9C型X射线SC切型晶片定向仪

DXD-1型任意偏角晶体X射线定向仪

■ DX-7CZ型硅单晶锭粘结仪

■ 说 明
该仪器专门用于硅单晶锭的粘结,晶锭用我公司的DX-7C型X射线定向仪测定后,在本仪器上粘结,是和多线切割机配套使用的半导体行业专用设备。

该仪器有一个定位板,由两台单片机控制,步进电机驱动,用于晶锭在粘结料板(工件板)上位置和角度调节。考虑到粘结胶凝固需一定时间,为提高生产率,该仪器可同时容纳3块已粘料板。每块料板上可粘结较短晶锭多块;但如需“复检”,则只能粘2块。料板固定方式可用电磁铁或螺丝,供用户选择。

主要技术参数见下表:

项目 参数
晶锭直径 3~8英寸
晶锭最大长度 500
料板最大长度 500
料板宽度 70,100,150
定位板转角(α) ±10°
转角最小读数 1″

注:用户有何特殊要求可协商。